深紫外固态激光器应用，深紫外固态激光源前沿装备

这给了人们一个模糊的希望：如果能找到一种晶体将激光波长扩展到深紫外光谱，人类将有望了解一个前所未有的世界。与同步辐射相比，在体积上，配备KBBF晶体棱镜耦合装置的全固态激光器变得非常小；在能量分辨率方面，比同步辐射提高5~10倍以上；在光子流密度方面，提高了3到5个数量级。因此，新型深紫外非线性光学晶体的设计与合成是亟待研究和突破的课题。

以深紫外激光发射电子显微镜（PEEM）为例，目前国际上最先进的光发射电子显微镜最大空间分辨率为20nm，采用全固态可提高到3.9nm激光。此外，激光技术是高精度测量传感、自动驾驶和量子通信的重要基础。

1、深紫外固态激光器应用

激光及相关技术的发展和融合，形成了激光制造、激光通信、激光探测、激光医学等跨技术学科，为人类认识和改造世界提供了大量新工具，孕育和孕育了开发了多种类型的激光器。工业化、系列化装备改变和重构了高端制造、信息通信、医疗诊疗、国防安全等诸多领域。随后，中国科学院西安光机所和长春光机所的谭成桥等人开展了266 nm波段紫外激光器的研究。

2、深紫外固态激光器

付强，中国科学院大连化学物理研究所研究员，深紫外激光发射电子显微镜（PEEM）子项目负责人。该装置全球首创实现1064nm激光6倍频输出，将全固态激光波长缩短至177.3nm，首次使深紫外激光技术实用化、精准化，并已获得专利在中国、日本和美国。如今，神光激光武器系统拥有世界上最大的激光输出功率，达到前所未有的1000万亿瓦激光脉冲，能够拦截3000公里内的敌方导弹。

3、深紫外固态激光源

但多年来，波长小于200nm的深紫外波段一直是一个神秘且难以逾越的障碍。主要用于紫外波段（266 nm、213 nm）的四倍频、五倍频发生；它还可用于在染料激光器中产生两倍和三倍频率；光参振荡和光参放大；氩离子倍频等。具有优异特性的非线性晶体。 2017年，上海张江综合国家科学中心在超强超短激光实验装备研制方面取得重要进展，成功实现5拍瓦激光脉冲输出，达到国际领先水平。

直到20世纪50年代，电子、微波技术等领域的迅速发展和应用，导致无线电微波技术向光波技术发展。这使得光波振荡器成为一种需求，激光器也应运而生。激光制造应用是激光工业应用的主要方向，包括去除与连接、表面工程、增材制造、修复与再制造、微纳制造等。产值占激光应用行业的30%以上。 20世纪90年代初，非线性光学晶体相继将Nd:YAG激光波长从近红外扩展到可见光甚至近紫外波长区域。

深紫外技术及装备在物理、化学、材料、信息、生命、资源环境等学科具有重大应用价值。